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可編程旋涂?jī)x/勻膠機(jī)

簡(jiǎn)要描述:HC220可編程旋涂?jī)x/勻膠機(jī),采用高精度工業(yè)伺服電機(jī),配置8英寸人機(jī)界面,清晰的編程程序界面設(shè)置,易學(xué)易用。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗(yàn)室級(jí)的研究開(kāi)發(fā)

  • 產(chǎn)品型號(hào):HC220
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-03-05
  • 訪  問(wèn)  量:662

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:



  稱(chēng):可編程精密勻膠機(jī)HC220PE

  號(hào):HC220PE

應(yīng)  用:HC220可編程旋涂?jī)x/勻膠機(jī),采用高精度工業(yè)伺服電機(jī),配置8英寸人機(jī)界面,清晰的編程程序界面設(shè)置,易學(xué)易用。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗(yàn)室級(jí)的研究開(kāi)發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

 

產(chǎn)品概述:



  HC220可編程旋涂?jī)x/勻膠機(jī),采用高級(jí)PLC 模塊,工業(yè)級(jí)伺服電機(jī),全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮印雽?dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
  設(shè)備采用工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類(lèi)產(chǎn)品中最大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

 

性能參數(shù):



l  旋涂程序:采用與track設(shè)備類(lèi)似的程序與設(shè)計(jì),最多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒;

l  電機(jī)速度:0-10,000rpm;

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載);

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm;

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm;

l  重復(fù)性< 1rpm;

l  工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step;

l  時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec;

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8"圓晶);

l  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量);

 

產(chǎn)品特點(diǎn):




l  用高級(jí)PLC模塊,工業(yè)級(jí)伺服電機(jī);

l  8英寸彩色觸屏控制,人機(jī)界面;

l HDPE高分子內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

l內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;

l可編程寫(xiě)和存儲(chǔ)100組程序,每組100步;

l帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能;

l帶蓋子安全互鎖檢測(cè)功能;

l帶排廢接口;

l具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;

l管路易疏通設(shè)計(jì);

l具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能;

l正、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換;

l旋涂參數(shù)可設(shè)置循環(huán)執(zhí)行;

l速度-時(shí)間曲線實(shí)時(shí)顯示;

l配置四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級(jí)多路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng);

l可設(shè)置用戶(hù)密碼保護(hù)功能;

l配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;

 

 

 


 

 

 

 

 

 

 

          不同尺寸的載物盤(pán)

 

 

產(chǎn)品外型尺寸:
       
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)    


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